901P-17020 | MKS Instrument 901P-17020 | Đồng hồ chân không 901P-17020 | Đại lý MKS Instrument Việt Nam

• Tên sản phẩm: 901P-17020 Loadlock Vacuum Transducer
• Hãng sản xuất: MKS Instruments
• Ứng dụng chính: Đo áp suất tuyệt đối trong buồng loadlock, thay thế nhiều loại cảm biến truyền thống nhờ khả năng đo từ khí quyển đến chân không sâu.

⚙️ Công nghệ cảm biến

• Kết hợp 2 công nghệ MEMS:
  • MicroPirani™ (thermal conductivity sensor): đo áp suất chân không thấp.
  • Piezo (diaphragm sensor): đo áp suất gần khí quyển.
• Sự kết hợp này giúp tăng độ chính xác, ổn định, lặp lại và tốc độ phản hồi vượt trội so với các cảm biến dẫn nhiệt truyền thống