Thiết bị 901P của hãng MKS là một loại cảm biến áp suất chân không, được thiết kế đặc biệt cho môi trường load lock. Nó kết hợp công nghệ cảm biến Micro Pirani™ và Piezo, cung cấp độ chính xác, ổn định, khả năng lặp lại và thời gian phản hồi nhanh hơn so với các loại cảm biến dẫn nhiệt thông thường.
Các đặc điểm nổi bật của thiết bị 901P:
- Đo áp suất tuyệt đối từ 1,000 đến 10^-5 Torr.
- Chức năng 3 cảm biến trong một cảm biến duy nhất cho phạm vi đo lường rộng.
- Có các phiên bản Analog, RS232, RS485, & EtherCAT®.
- Tùy chọn màn hình cảm ứng tích hợp có sẵn để hiển thị áp suất cục bộ.
- Đo áp suất nhanh, chính xác và lặp lại, giúp giảm thời gian chu kỳ quy trình.
- Ba điểm cài đặt tùy chọn với thời gian phản hồi nhanh cho việc kiểm soát quy trình đáng tin cậy
Ứng dụng của thiết bị 901P của hãng MKS rất đa dạng, nhưng chủ yếu được sử dụng trong các môi trường công nghiệp cần đo lường áp suất chân không chính xác. Dưới đây là một số ứng dụng cụ thể:
- Load lock trong sản xuất bán dẫn: Đo và kiểm soát áp suất chân không trong quá trình chuyển wafer giữa môi trường chân không và áp suất khí quyển.
- Hệ thống phun cát và khắc laser: Cung cấp thông tin áp suất chính xác để đảm bảo quy trình xử lý bề mặt diễn ra ổn định.
- Nghiên cứu khoa học và phòng thí nghiệm: Sử dụng trong các thí nghiệm cần đo lường áp suất chân không chính xác, như thí nghiệm vật lý plasma hoặc hóa học chân không.
- Sản xuất màn hình LCD và OLED: Kiểm soát áp suất trong quá trình bốc hơi chân không để tạo ra các lớp phủ mỏng.
- Công nghệ không gian và hàng không: Đo lường áp suất chân không trong các buồng mô phỏng không gian hoặc trong quá trình sản xuất các bộ phận hàng không.
Reviews
There are no reviews yet.